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              1. 產品展示

                  NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵

                    特長
                    NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。
                    低噪音、低振動
                    優良的耐腐蝕性
                    標準零部件采用高硬度并經過優異的防腐蝕特殊表面處理,降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。
                    選購件
                    可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。

                    用途
                    ?  活性氣體(CVD、刻蝕等)。
                    ?  排出非活性氣體(濺射鍍膜、   蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等)。
                    ?  用于產生粉塵工藝中的排氣(Si單晶爐等)
                    ?  作為前級泵使用(渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵)。
                    ?  冷凍干燥等水蒸氣排氣。
                技術參數
                外形尺寸圖
                抽氣速率曲線
                  樣本下載


                * 1  極限壓力是氮氣(密封氣體)在5.0 SLM時的值。
                * 2  無結露。
                * 3  用調節閥所調整的壓力表的值。
                * 4  氮氣(密封氣體)流量5.0 SLM是固定值。




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